英國(guó)Ossila-Spin Coater

簡(jiǎn)要描述：英國(guó)Ossila-Spin Coater操作簡(jiǎn)單，方便實(shí)用，旋涂均勻，結(jié)構(gòu)小巧緊湊，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的非真空卡盤(pán)式旋涂吸盤(pán)，無(wú)需真空泵或充氮?dú)猓湍苓_(dá)到很好的旋涂效果。可對(duì)大小不同規(guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂，尤其是對(duì)超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時(shí)同樣能達(dá)到較好的旋涂效果。不會(huì)出現(xiàn)真空吸盤(pán)旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象，影響涂層的均勻性。

產(chǎn)品型號(hào)：L20001
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-10-30
訪問(wèn) 量：3295

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詳細(xì)介紹

品牌	Ossila/歐西拉	價(jià)格區(qū)間	5萬(wàn)-10萬(wàn)
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁

英國(guó)Ossila-Spin Coater

Spin Coater技術(shù)性能

可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用，基座面積僅為22.5x17cm。
無(wú)需真空泵、充氮?dú)猓?jié)省保養(yǎng)維護(hù)費(fèi)用。
創(chuàng)新設(shè)計(jì)非真空卡盤(pán)式吸盤(pán)，基材只需放置在卡盤(pán)式旋涂托盤(pán)適當(dāng)位置，無(wú)需抽真空，就能達(dá)到較好的旋涂效果。
耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面，堅(jiān)固的不銹鋼外殼，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤(pán)，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運(yùn)行。
采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制，10個(gè)用戶自定義協(xié)議，每個(gè)協(xié)議下可設(shè)置10個(gè)程序，每個(gè)程序多50個(gè)步驟。
內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證運(yùn)行安全。
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<2%。
轉(zhuǎn)速：120-6000rpm。
定時(shí)器：1-1000秒。
電源：DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
尺寸：220x170x132mm。

　　Spin Coater用于晶片基底材料的表面光刻膠涂覆。勻膠機(jī)由樣品臺(tái)、滴膠裝置和空心電動(dòng)機(jī)組成，其工作原理是，通過(guò)在樣品臺(tái)上產(chǎn)生負(fù)壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺(tái)上，光刻膠液滴注在基底材料的表面，通過(guò)準(zhǔn)確控制電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度，以此來(lái)改變離心力的大小，同時(shí)通過(guò)控制膠液的流量來(lái)達(dá)到制備薄膜所需的厚度。

Spin Coater

　　勻膠機(jī)在旋涂過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)邊緣效應(yīng)，這是由于在旋涂的過(guò)程中溶劑的揮發(fā)導(dǎo)致表面和邊界處光刻膠的濃度和黏度都增大，從而引起邊緣位置較中心位置要厚一些，因此基片邊緣需要經(jīng)過(guò)去邊處理。去邊處理包括基片正面和背面的化學(xué)去邊處理，以及基片正面的光學(xué)去邊處理。

　　Spin Coater動(dòng)態(tài)滴膠是指基片在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中將光刻膠滴注到基片的中心位置，通常旋轉(zhuǎn)速度不宜過(guò)快( 500/min),動(dòng)態(tài)滴膠可以在保證快速地在基片表面將光刻膠鋪開(kāi)的前提下，減少針孔的產(chǎn)生，也可減少光刻膠的使用量。

左：普通旋涂機(jī)上有真空密封環(huán)形印跡右：Ossila非真空式旋涂效果

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