紫外臭氧清洗機是一種采用無接觸方式，在空氣中進行且在清洗后不必進行干燥。在清洗過程中主要是依靠等中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看，清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發為等離子態，氣相物質被吸附在固體表面，被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子，產物分子解析形成氣相，反應殘余物脫離表面。